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低溫耦合等離子刻蝕機

免費樣品檢驗 48小時發(fā)貨 工廠直銷
￥300萬-1000萬

產(chǎn)品規(guī)格：低溫刻蝕,、平板三螺旋天線PTSA、高選擇比

公司所在地：重慶

產(chǎn)品庫存：現(xiàn)貨及定制

可供貨地區(qū)：全國

其他說明：

刻蝕機可在-100°C左右的低溫下實現(xiàn)深硅刻蝕,。采用連續(xù)的SF6/O2刻蝕工藝,，在側壁上生成低溫自鈍化層。該工藝刻蝕后形成光滑的側壁,，在光學應用上非常重要,。同時刻蝕工藝的高刻蝕速率可實現(xiàn)刻樣傳片。

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刻蝕機可在-100°C左右的低溫下實現(xiàn)深硅刻蝕,。采用連續(xù)的SF6/O2刻蝕工藝,，在側壁上生成低溫自鈍化層。該工藝刻蝕后形成光滑的側壁,，在光學應用上非常重要,。同時刻蝕工藝的高刻蝕速率可實現(xiàn)刻樣傳片。收起

品牌：
SENTECH
型號：
SI 500,、SI 500C等
功能：
刻蝕后形成光滑側壁,，在光學應用中非常重要
用途范圍：
可在-100℃左右低溫下實現(xiàn)深硅刻蝕
重慶眺...
重慶眺望科技有限公司
聯(lián)系人：眺望科技
主營業(yè)務：美國AJA磁控濺射,，離子刻蝕,、電子束蒸發(fā)等PVD設備，先進電鍍設備,，ICP,PECVD,ALD,RIE等離子體工藝設備等,，美國Film Sense多波長橢偏儀,，ATL激光器以及徠卡LEICA光學顯微鏡
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