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點(diǎn)擊登錄查看2025年8至10月政府采購(gòu)意向-SOM的12寸線上工藝開(kāi)發(fā)及流片服務(wù) 詳細(xì)情況
| SOM的12寸線上工藝開(kāi)發(fā)及流片服務(wù) | |
| 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： | 點(diǎn)擊登錄查看2025年8至10月政府采購(gòu)意向 |
| 采購(gòu)單位： | 點(diǎn)擊登錄查看 |
| 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： | SOM的12寸線上工藝開(kāi)發(fā)及流片服務(wù) |
| 預(yù)算金額： | 347.000000萬(wàn)元(人民幣) |
| 采購(gòu)品目： | C****電子,、通信與自動(dòng)控制技術(shù)研究服務(wù) |
| 采購(gòu)需求概況 ： | 階段1：材料1靶材準(zhǔn)備及薄膜工藝調(diào)試,，包括薄膜測(cè)試和組分結(jié)構(gòu)；mat char FO樣片制備,，完成電學(xué)測(cè)試，包括薄膜組分,、形貌,、黏附性等，單元擦寫(xiě)時(shí)延,、閾值窗口,、擦寫(xiě)次數(shù)等mat char測(cè)試數(shù)據(jù)； 階段2：材料2靶材準(zhǔn)備及薄膜工藝調(diào)試,，包括薄膜測(cè)試和組分結(jié)構(gòu),；mat char FO樣片制備，完成電學(xué)測(cè)試,，包括薄膜組分,、形貌、黏附性等,，單元擦寫(xiě)時(shí)延,、閾值窗口,、擦寫(xiě)次數(shù)等mat char測(cè)試數(shù)據(jù)； 階段3：進(jìn)行結(jié)構(gòu)工藝調(diào)試,，包括WL和BL調(diào)試,，刻蝕形貌/包裹等需進(jìn)行TEM切片表征，實(shí)現(xiàn)20nm特征尺寸的工藝流程,； 階段4：4片F(xiàn)L的12寸晶圓流片,；測(cè)試并統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。 |
| 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： | 2025-09 |
| 備注： | |
本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排,，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn),。
