| 技術(shù)參數(shù)及配置要求 | 該設(shè)備主要由真空室腔體，蒸發(fā)源系統(tǒng),，樣品臺(tái)系統(tǒng),，真空泵機(jī)組，設(shè)備機(jī)架和電控系統(tǒng)組成,，設(shè)備前門可與手套箱對(duì)接,。 1、真空室腔體：1套 1)外形：優(yōu)質(zhì)304不銹鋼方形前后開(kāi)門真空室腔體1套,，內(nèi)部尺寸長(zhǎng)650mm*650mm*700mm,，后門采用鉸鏈?zhǔn)椒介T，方便清洗真空腔體,，真空室內(nèi)部調(diào)試,，維修以及取放物品，前門采用橫拉式方門,，前門配DN100視窗兩套,；后門配DN100視窗兩套， 2)底部：金屬源接口2套，有機(jī)蒸發(fā)源接口2套.以及MCVAC水冷膜厚探頭接口2套,烘烤照明兩套 3)頂部：水冷樣品臺(tái)接口1套,，氣動(dòng)擋板接口2套,，GDQ-J16B-KF高真空氣動(dòng)擋板閥接口1套,CF35熱電偶法蘭一個(gè) 4)右側(cè)壁：水冷脂潤(rùn)滑JTFB-1300分子泵接口一套，CCQ-200CF接口一套,，CF35預(yù)抽法蘭接口一個(gè) 5)左側(cè)壁,；KF16高真空電阻規(guī)接口及CF35高真空電離規(guī)接口各一個(gè)，預(yù)留法蘭若干 6)腔體漏率：整體漏率優(yōu)于5×10-10Pa.m3/S,，保壓12小時(shí),，壓強(qiáng)小于10Pa。 7)內(nèi)部裝有襯板,，方便清理 2,、蒸發(fā)源系統(tǒng)：1套 1)金屬源2套：水冷銅電極2組，兼容蒸發(fā)舟（鎢,、鉬,，鉭舟）和螺旋絲，可蒸鍍金屬和氧化物等,，采用氣缸擋板,，翻蓋開(kāi)關(guān)，1KW直流電源2臺(tái),，可切換,，數(shù)字顯示，蒸發(fā)電源可以通過(guò)軟件控制,，也可以手動(dòng)控制,，此外，蒸發(fā)電源還可以通過(guò)310C膜厚儀PID（閉環(huán)控制）,，可單通道自動(dòng)調(diào)節(jié)蒸發(fā)速率,； 2)有機(jī)蒸發(fā)源2套；采用鎧裝加熱絲,，安全潔凈,，最高加熱溫度：500℃，配4CC石英玻璃舟,，采用氣缸擋板,，翻蓋開(kāi)關(guān)，采用直流電源2臺(tái),，通過(guò)日本導(dǎo)電溫控表進(jìn)行PID精確溫度控制,，溫控精度±1℃，溫控表顯示精度0.1℃,； 3)隔板：蒸發(fā)源采用隔板分隔,，避免交叉污染，部分隔板可免工具拆卸。 3,、樣品臺(tái)系統(tǒng)：1套 1)基片旋轉(zhuǎn)：采用磁流體密封,，保證密封可靠性，轉(zhuǎn)速5～20轉(zhuǎn)／分,，通過(guò)觸摸屏控制連續(xù)可調(diào),； 2)基片升降：；金屬源襯底與蒸發(fā)源間距320mm-520mm,，有機(jī)源270mm-470mm襯底與蒸發(fā)源間距通過(guò)觸摸屏控制連續(xù)可調(diào),； 3)基片掛架：承載200*200mm插入式樣品托架， 4)基片擋板：采用磁流體密封,，在基片旋轉(zhuǎn)的任意角度均可擋住或打開(kāi),，通過(guò)軟件控制，旋轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān),， 5)樣品水冷：采用小型制冷水機(jī)制冷,，冷卻水溫度20℃～35℃，工作環(huán)境溫度：10℃～40℃,； 6)樣品測(cè)溫,；采用熱電偶連接顯示器顯示溫度 7)200mm*200mm樣品鍍膜均勻度±5% 4、真空泵機(jī)組：1套 1)VRD-30雙級(jí)泵1臺(tái),； 2)DDC-JQ40-KF真空電磁充氣閥1臺(tái),； 3)KF40泵閥連接軟管1套； 4)GDQ-J40B-KF高真空氣動(dòng)擋板閥1臺(tái),； 5)JTFB-1300L水冷脂潤(rùn)滑分子泵1臺(tái),； 6)CCQ-200CF氣動(dòng)超高真空插板閥1臺(tái)； 7)CDQ-J40B-CF超高真空氣動(dòng)擋板閥1臺(tái),； 8)GDQ-J16B-KF高真空氣動(dòng)擋板閥1臺(tái),； 9)ZDF-5227數(shù)顯真空計(jì)1臺(tái)（測(cè)量范圍：1×105～1×10-5Pa）。 5,、設(shè)備機(jī)架：1套 1)40碳鋼方管焊接機(jī)架1套，表面噴塑,； 2)3英寸萬(wàn)向輪4件,，移動(dòng)調(diào)整； 3)M16地腳4件,，鎖緊定位,。 6、其他電控系統(tǒng)：1套（電氣控制采用設(shè)備機(jī)架內(nèi)置） 1)烘烤照明電源：1臺(tái),；(集成電氣) 2)總控制電源1臺(tái),，配10英寸觸摸屏，PLC控制器，樣品臺(tái)及擋板控制器,，蒸發(fā)源擋板控制器,，泵閥開(kāi)關(guān)、相序檢測(cè),，以及電纜開(kāi)關(guān)接頭等,。 7、其他技術(shù)參數(shù)： 1)缺相保護(hù),、誤操作保護(hù),，聯(lián)動(dòng)互鎖以及一鍵真空啟停等功能； 2)供電：～220V單相供電系統(tǒng)（峰值4KW）,； 3)供水：小型循環(huán)制冷水機(jī),，冷卻水溫度20℃～35℃，工作環(huán)境溫度：10℃～40℃,； 4)供氣：小型無(wú)油靜音氣泵,，提供0.2-0.3MPa氣壓，驅(qū)動(dòng)氣動(dòng)閥門,； 5)極限真空：優(yōu)于6×10-5Pa,，大氣至6×10-4Pa時(shí)間小于35分，充干燥氮?dú)狻?/td> |
當(dāng)前位置：
